Master-P510APEX拋光裝備是面向先進封裝、玻璃基板等領(lǐng)域板級產(chǎn)品的高精度拋光裝備，專為滿足 510mm×515mm 規(guī)格板件的超平坦化、低缺陷拋光需求設(shè)計。雙拋光頭 + 雙研磨盤配置，集成在線清洗？橛肴遠舷鋁舷低，配置翻轉(zhuǎn)？，實現(xiàn)雙面拋光需求?？蛇B續(xù)穩(wěn)定運行，滿足全自動量產(chǎn)的需求。
多分區(qū)拋光頭
集成多種先進終點檢測技術(shù)
可實現(xiàn)產(chǎn)品干進干出
全自動上下料系統(tǒng)
配置產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)？，可實現(xiàn)雙面拋光
滿足自動化量產(chǎn)需求