Master-P510拋光裝備是面向先進封裝、玻璃基板等領(lǐng)域板級產(chǎn)品的高精度拋光裝備，專為滿足不大于510mm×515mm 規(guī)格板件的超平坦化、低缺陷拋光需求設(shè)計。單拋光頭，單拋光盤設(shè)備維護成本低，工藝切換靈活，無需復(fù)雜配套設(shè)備。
板級CMP裝備
集成多種先進終點檢測技術(shù)
可實現(xiàn)不大于510mm*515mm尺寸矩形產(chǎn)品兼容
