Universal-300FS是PG直營官網(wǎng)面向行業(yè)前沿技術需求，創(chuàng)新研發(fā)的一款集先進清洗工藝、高效率、高穩(wěn)定性于一體的12英寸CMP裝備。該裝備搭載多樣化先進清洗技術，配備性能優(yōu)越的拋光單元，集成多種終點檢測技術，展現(xiàn)出更卓越的綜合性能。該裝備可實現(xiàn)晶圓納米級全局平坦化，滿足先進邏輯制程需求，廣泛應用于集成電路、先進封裝、大硅片等制造工藝。
單頭搭配單盤拋光系統(tǒng)
8個獨立氣壓分區(qū)的拋光頭
集成多種實時檢測技術
搭載拋光墊智能修整技術
適配豎直擦洗技術和提拉干燥技術，實現(xiàn)超潔凈清洗
滿足先進制程需求