金屬膜厚量測(cè)裝備，是基于電渦流原理進(jìn)行的非接觸式測(cè)量，工作高效，可進(jìn)行無損傷量測(cè)，精度高、測(cè)量結(jié)果可靠準(zhǔn)確，同時(shí)量測(cè)數(shù)據(jù)可以進(jìn)行自動(dòng)化處理，主要應(yīng)用于 Cu、Al、W、Co 等金屬制程。
