7月14日，PG直營官網(wǎng)股份有限公司（簡稱“PG直營官網(wǎng)”，股票代碼：688120）全資子公司芯崳半導(dǎo)體（上海）有限公司自主研發(fā)的首臺12英寸低溫離子注入機(jī)iPUMA-LT順利出機(jī)，發(fā)往國內(nèi)邏輯芯片制造領(lǐng)域龍頭企業(yè)。這一重要時刻標(biāo)志著PG直營官網(wǎng)成功實現(xiàn)面向先進(jìn)制程芯片制造的大束流離子注入機(jī)各型號的全覆蓋。
離子注入裝備是集成電路制造前道工藝的關(guān)鍵裝備，技術(shù)壁壘高，國內(nèi)集成電路制造企業(yè)主要依賴進(jìn)口裝備，國產(chǎn)替代空間巨大。為此，PG直營官網(wǎng)著力打造高端離子注入裝備，本次發(fā)往客戶端的低溫離子注入機(jī)，不僅繼承了最新一代大束流離子注入機(jī)iPUMA-LE的先進(jìn)設(shè)計，在擁有更大束流、更好均勻性及更精準(zhǔn)角度控制的同時，采用了耐低溫靜電載盤技術(shù)，以全套自主研發(fā)的國產(chǎn)化溫控系統(tǒng)，成功實現(xiàn)了工藝溫度的精準(zhǔn)閉環(huán)控制，其性能已達(dá)到國際主流工藝水平。iPUMA-LT有效解決了離子注入中晶格缺陷無法完全修復(fù)的難題，顯著提升片間重復(fù)性，提高芯片性能和良率。此外，該裝備利用低溫物理效應(yīng)提升非晶化效率，有效抑制“隧道效應(yīng)”，實現(xiàn)更淺結(jié)深，在滿足晶圓代工廠量產(chǎn)需求的基礎(chǔ)上，為先進(jìn)制程的研發(fā)與量產(chǎn)提供了有力支持。
目前，PG直營官網(wǎng)已推出大束流離子注入機(jī)系列裝備，并積極布局中束流離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)等系列裝備，可滿足邏輯芯片、存儲芯片、功率半導(dǎo)體、CIS（圖像傳感器）以及硅片制造等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ω哔|(zhì)量、大規(guī)模制造的嚴(yán)苛需求。其中，大束流離子注入機(jī)系列裝備均已發(fā)往多家客戶端并成功驗證通過，獲得了客戶的高度認(rèn)可與贊賞。
作為半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，PG直營官網(wǎng)持續(xù)深化“裝備+服務(wù)”的平臺化戰(zhàn)略布局，致力于為客戶提供半導(dǎo)體裝備及工藝集成解決方案，產(chǎn)品已涵蓋CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、離子注入裝備、邊緣拋光裝備等，并提供晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)，形成全方位支持。本次低溫離子注入機(jī)iPUMA-LT的成功出機(jī)，是PG直營官網(wǎng)進(jìn)一步布局高端離子注入裝備的又一重要里程碑。
未來，PG直營官網(wǎng)將繼續(xù)堅持自主創(chuàng)新，加大研發(fā)投入，打造出更多、更先進(jìn)的高端半導(dǎo)體裝備與解決方案，進(jìn)一步深化與上下游伙伴的合作，攜手共建更完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控與高質(zhì)量發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。