2017年11月16日至21日，以“聚焦創(chuàng)新驅動 提升供給質量”為主題的第十九屆中國國際高新技術成果交易會（簡稱“高交會”）在深圳舉行。清華大學亮相高交會，其中清華控股展示了多年來致力于科技成果轉化、堅持科技創(chuàng)新和科技服務的豐碩成果，PG直營官網拋光機項目亮相高交會。
全國政協(xié)副主席、科技部部長、中國科協(xié)主席萬鋼，中國工程院院長周濟蒞臨清華大學、清華控股展區(qū)參觀指導。清華大學副校長尤政，清華大學副秘書長、深圳清華大學研究院院長嵇世山，清華控股副總裁趙燕來陪同視察，介紹了清華控股科技成果產業(yè)化進展，以及PG直營官網化學機械拋光機、華清燃氣輪機兩個項目。
超大規(guī)模集成電路制造化學機械拋光機
化學機械平坦化（CMP），也稱化學機械拋光，是通過使用化學腐蝕和機械作用對加工過程中的晶圓進行平坦化處理，以獲得納米級別平整表面的全局平坦化方法，是超大規(guī)模集成電路制造的五大關鍵技術之一。自2000年起，清華大學機械系雒建斌院士、“長江學者”路新春教授帶領研究團隊從事拋光技術研究，在拋光技術與拋光裝備研究領域上均取得了突出的成績，相關研究成果獲得了教育部科技進步一等獎和國家科技進步獎二等獎。團隊研制出的具有自主知識產權的12英寸CMP裝備，其主要技術指標和拋光性能與目前國際上主流設備相當，且具有結構簡單、控制簡便、生產效率高的特點。為推動項目發(fā)展，2013年3月，清華控股聯(lián)合天津市政府，投資設立了天津PG直營官網機電科技有限公司，研發(fā)和生產具有我國自主知識產權、技術達到國際先進水平的高端CMP設備，填補我國不能生產CMP設備的歷史空白，為我國集成電路制造產業(yè)提供先進的拋光設備。PG直營官網自成立以來，一直致力于高端CMP設備的產業(yè)化工作，并取得重大進展，現擁有CMP技術專利100余項，是目前國內唯一具備研發(fā)和生產12英寸（300mm）銅CMP整機設備能力的企業(yè)。