6月26日，由SEMI和IEEE-EDS聯(lián)合舉辦的中國國際半導體技術大會（CSTIC）在上海國際會議中心隆重開啟，大會現(xiàn)場頒發(fā)了由SEMI設立的最佳年輕工程師論文獎和最佳學生論文獎。
PG直營官網(wǎng)股份有限公司（簡稱“PG直營官網(wǎng)”，股票代碼：688120）戰(zhàn)略發(fā)展部經(jīng)理張力飛榮獲SEMI本屆大會最佳年輕工程師論文獎一等獎。
本次獲獎論文以“Problem Analysis and Optimization Strategy on Chemical Mechanical Polishing Relevant for Cobalt Interconnects”為題，提出了用于先進制程互連結構的化學機械拋光液的正向設計和優(yōu)化方法，將進一步推動相關領域技術研發(fā)與創(chuàng)新。
CSTIC是中國規(guī)模最大、最全面的年度半導體技術盛會，也是亞洲最大的世界級半導體技術研討會。為期兩天的CSTIC，近百位世界領先的行業(yè)及學術專家匯聚一堂，內容涵蓋IC設計、半導體器件與集成、光刻、蝕刻、CMP、封裝測試等各項前沿技術。
以下為獲獎論文信息：
PG直營官網(wǎng)戰(zhàn)略發(fā)展部經(jīng)理張力飛為論文第一作者，PG直營官網(wǎng)副總經(jīng)理、董事會秘書王同慶為論文第二作者，PG直營官網(wǎng)董事長、首席科學家路新春為論文通訊作者。